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集散控制式流光放电半湿法烟气脱硫技术的研究开发
广东杰特科技发展有限公司
直接甲醇燃料电池研制
江苏双登电源有限公司
直接醇类燃料电池微电源系统集成关键技术研究
中科院大连化学物理研究所
太阳能固体吸附式除湿空气调节技术
华南理工大学
可再生能源发电用超级电容器储能系统关键技术研究
中科院电工研究所
高利用率农业地热供热系统关键技术研究
天津大学
面向石化等重要行业的MEMS压力传感器制造技术与实用化研究
西安交通大学
实时原位双光子MEMS三维加工新技术
中科院电子所
污染与气体检测微系统研究
清华大学
面向MEMS加工的精密定位技术的研究
哈尔滨工业大学
面向MEMS加工的精密定位技术的研究
天津大学
低应力多层薄膜加工关键技术
东南大学
同工酶生化分析仪的研制
中科院上海微系统所
一种新的用于信息安全的MEMS强链
上海交通大学
污染与气体检测微系统研究
清华大学
实时原位双光子MEMS三维加工新技术
中科院电子所
柔性智能皮肤的微机械加工技术研究
中科院合肥智能所
新型三维结构刻蚀技术
清华大学
铁电体微型MEMS致冷器
中科院电工所
半导体激光器泵浦源深蚀刻屋脊式微通道硅基MEMS致冷器
西南科技大学
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